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    不同的抛光液在应用方面有什么区别?

    不同的抛光液在应用方面有什么区别?

    发布日期:2019-08-14 作者: 点击:

    全自动抛光机

    在微电子工业领域,都离不开单晶硅、蓝宝石、碳化硅等半导体材料,为了保证在制造过程中的产品性能合格,通常会采用全自动抛光机抛光液进行抛光,下面,高密市祥合光整机械有限公司跟大家聊一聊不同的全自动抛光机的抛光液在应用方面有什么区别。

    1、SiO2胶体抛光液

    SiO2胶体抛光液是通过高纯度的硅粉或者水玻璃为原材料,经过特殊工艺生产的一种高纯度的金属离子行抛光产品,广泛应用于多种材料的高平坦抛光,比如硅片、宝石等物品的抛光。

    2、稀土抛光液

    稀土抛光液的主要成分是二氧化铈,通常用作玻璃抛光。随着工件尺寸的缩小,传统的硅很容易在尺寸较大的集成电路沟槽处形成缺陷,而二氧化铈作为研磨颗粒的第二代抛光液,能够进行选择和自动停止抛光,有效的解决这种问题的发生。

    3、Al2O3抛光液

    Al2O3抛光液具有硬度高,稳定性好的优点。与SiO2相比,它在去除速率上有明显的优势。应用十分广泛。全自动抛光机厂家高密市祥合光整机械有限公司提醒大家虽然这种抛光液性能非常好,但是由于使用的氧化铝原料需国外进口,而且订货的周期比较长,所以成本也相对来说是比较高的,大家可以根据自己的需求进行合适的选择。


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